|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 73 gevonden artikelen
| Titel: |
Control of the buried SiO2 layer thickness and Si defect density in SIMOX substrates — structural investigation and process optimisation |
| Auteur: |
Marsh, C.D. Nejim, A. Li, Y. Booker, G.R. Hemment, P.L.F. Chater, R.J. Kilner, J.A. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 74 (1993) nr. 1-2 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
1993 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 73 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |