|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 25 gevonden artikelen
| Titel: |
Lateral spread of Ar+ implanted in SiO2 and Si3 N4 films |
| Auteur: |
Ke-Ming, Wang Bao-Dong, Qu Bo-Rong, Shi Xiang-Dong, Liu Ji-Tian, Liu Ke-Xin, Liu Xue-Lin, Wang |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 72 (1992) nr. 1 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
1992 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 25 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |