|
Influence of implantation and annealing temperatures on the irradiation damage in He2+ ion implanted 6H-SiC |
|
|
|
Titel: |
Influence of implantation and annealing temperatures on the irradiation damage in He2+ ion implanted 6H-SiC |
Auteur: |
Zang, Hang Yu, Heng Wang, Tao Liu, Fang Chen, Chuanhao Zhou, Pingan Shi, Tan He, Huan Liu, Wenbo He, Chaohui |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 560 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2025 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|