|
Au ion-induced atomic migration behavior in an HfO2/Si stack |
|
|
|
Titel: |
Au ion-induced atomic migration behavior in an HfO2/Si stack |
Auteur: |
Zhang, Runze Li, Yun Ming, Siting Ma, Yao Gong, Min Liu, Wei Liu, Bingyan Yang, Zhimei Bi, Jinshun Xi, Kai Wang, Peng Han, Jifeng |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 474 () nr. C pagina's 23-28 |
Jaar: |
2020 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|