|
On the anomalous generation of {0 0 1} loops during laser annealing of ion-implanted silicon |
|
|
|
Titel: |
On the anomalous generation of {0 0 1} loops during laser annealing of ion-implanted silicon |
Auteur: |
Marqués, Luis A. Aboy, María Santos, Iván López, Pedro Cristiano, Fuccio La Magna, Antonino Huet, Karim Tabata, Toshiyuki Pelaz, Lourdes |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 458 () nr. C pagina's 179-183 |
Jaar: |
2019 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|