|
Annealing of preexisting defects in silicon single crystals by ion irradiation |
|
|
|
Titel: |
Annealing of preexisting defects in silicon single crystals by ion irradiation |
Auteur: |
Mihai, M.D. Ionescu, P. Pantelica, D. Petrascu, H. Craciun, D. Craciun, V. Vasiliu, F. Vasile, B.S. Mercioniu, I. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 450 () nr. C pagina's 85-89 |
Jaar: |
2019 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|