|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 52 gevonden artikelen
| Titel: |
Design considerations for a compact proton beam writing system aiming for fast sub-10nm direct write lithography |
| Auteur: |
Xu, Xinxin Liu, Nannan Raman, P. Santhana Qureshi, Sarfraz Pang, Rudy Khursheed, Anjam van Kan, Jeroen A. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 404 (2017) nr. C pagina's 243-249 |
| Jaar: |
2017 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 52 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |