|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 20 gevonden artikelen
| Titel: |
A method for analysis and profiling of boron, carbon and oxygen impurities in semiconductor wafers by recoil atoms in heavy ion beams |
| Auteur: |
Petrascu, M. Berceanu, I. Brancus, I. Buta, A. Duma, M. Grama, C. Lazar, I. Mihai, I. Petrovici, M. Simion, V. Mihaila, M. Ghita, I. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 4 (1984) nr. 3 pagina's 3 p. |
| Jaar: |
1984 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 20 gevonden artikelen
| volgende >> |