|
RBS analysis of beam-processed microarea by focused MeV ion beam |
|
|
|
Titel: |
RBS analysis of beam-processed microarea by focused MeV ion beam |
Auteur: |
Kinomura, A. Takai, M. Matsuo, T. Ujiie, S. Namba, S. Satou, M. Kiuchi, M. Fujii, K. Shiokawa, T. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 39 (1989) nr. 1-4 pagina's 3 p. |
Jaar: |
1989 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|