|
Nonlinear phenomena in hydrogen implantation into (100) silicon |
|
|
|
Titel: |
Nonlinear phenomena in hydrogen implantation into (100) silicon |
Auteur: |
Cerofolini, G.F. Meda, L. Volpones, C. Dierckx, R. Mercurio, G. Anderle, M. Canteri, R. Cembali, F. Fabbri, R. Servidori, M. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 39 (1989) nr. 1-4 pagina's 4 p. |
Jaar: |
1989 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|