|
Ion beam evaluation of silicon carbide membrane structures intended for particle detectors |
|
|
|
Titel: |
Ion beam evaluation of silicon carbide membrane structures intended for particle detectors |
Auteur: |
Pallon, J. Syväjärvi, M. Wang, Q. Yakimova, R. Iakimov, T. Elfman, M. Kristiansson, P. Nilsson, E.J.C. Ros, L. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 371 () nr. C pagina's 132-136 |
Jaar: |
2016 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|