|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 80 van 102 gevonden artikelen
| Titel: |
Sputtering of SiN films by 540keV C 60 2 + ions observed using high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy |
| Auteur: |
Nakajima, K. Morita, Y. Kitayama, T. Suzuki, M. Narumi, K. Saitoh, Y. Tsujimoto, M. Isoda, S. Fujii, Y. Kimura, K. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 332 (2014) nr. C pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 80 van 102 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |