|
Near-surface recrystallization of the amorphous implanted layer of ion implanted 6H-SiC |
|
|
|
Titel: |
Near-surface recrystallization of the amorphous implanted layer of ion implanted 6H-SiC |
Auteur: |
Kuhudzai, R.J. van der Berg, N.G. Malherbe, J.B. Hlatshwayo, T.T. Theron, C.C. Buys, A.V. Botha, A.J. Wendler, E. Wesch, W. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 332 (2014) nr. C pagina's 6 p. |
Jaar: |
2014 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|