|
Tailoring of SiC nanoprecipitates formed in Si |
|
|
|
Titel: |
Tailoring of SiC nanoprecipitates formed in Si |
Auteur: |
Velisa, G. Trocellier, P. Thomé, L. Vaubaillon, S. Miro, S. Serruys, Y. Bordas, É. Meslin, E. Mylonas, S. Coulon, P.E. Leprêtre, F. Pilz, A. Beck, L. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 307 (2013) nr. C pagina's 6 p. |
Jaar: |
2013 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|