|
Stopping cross sections of atomic layer deposited Al2O3 and Ta2O5 and of Si3N4 for 12C, 16O, 35Cl, 79Br and 127I ions |
|
|
|
Titel: |
Stopping cross sections of atomic layer deposited Al2O3 and Ta2O5 and of Si3N4 for 12C, 16O, 35Cl, 79Br and 127I ions |
Auteur: |
Mizohata, K. Räisänen, J. Keinonen, J. Härkönen, E. Palmans, J. Ritala, M. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 300 (2013) nr. C pagina's 5 p. |
Jaar: |
2013 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|