|
Maskless proton beam writing in gallium arsenide |
|
|
|
Titel: |
Maskless proton beam writing in gallium arsenide |
Auteur: |
Mistry, P. Gomez-Morilla, I. Smith, R.C. Thomson, D. Grime, G.W. Webb, R.P. Gwilliam, R. Jeynes, C. Cansell, A. Merchant, M. Kirkby, K.J. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 260 (2007) nr. 1 pagina's 5 p. |
Jaar: |
2007 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|