|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 42 van 98 gevonden artikelen
| Titel: |
Hydrogen silsesquioxane a next generation resist for proton beam writing at the 20nm level |
| Auteur: |
van Kan, J.A. Bettiol, A.A. Watt, F. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 260 (2007) nr. 1 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 42 van 98 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |