|
Molecular dynamic simulation on boron cluster implantation for shallow junction formation |
|
|
|
Titel: |
Molecular dynamic simulation on boron cluster implantation for shallow junction formation |
Auteur: |
Yuan, Li Yu, Min Li, Wei Ji, Huihui Ren, Liming Zhan, Kai Huang, Ru Zhang, Xing Wang, Yangyuan Zhang, Jinyu Oka, Hideki |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 251 (2006) nr. 2 pagina's 5 p. |
Jaar: |
2006 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|