Details van artikel 215 van 233 gevonden artikelen
The analysis of a thin SiO2/Si3N4/SiO2 stack: A comparative study of low-energy heavy ion elastic recoil detection, high-resolution Rutherford backscattering and secondary ion mass spectrometry
Titel:
The analysis of a thin SiO2/Si3N4/SiO2 stack: A comparative study of low-energy heavy ion elastic recoil detection, high-resolution Rutherford backscattering and secondary ion mass spectrometry
Auteur:
Brijs, B. Sajavaara, T. Giangrandi, S. Janssens, T. Conard, T. Arstila, K. Nakajima, K. Kimura, K. Bergmaier, A. Dollinger, G. Vantomme, A. Vandervorst, W.
Verschenen in:
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms
Paginering:
Jaargang 249 (2006) nr. 1-2 pagina's 4 p.
Jaar:
2006
Inhoud:
Uitgever:
Elsevier B.V.
Bronbestand:
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
Details van artikel 215 van 233 gevonden artikelen