|
MeV-Si ion irradiation effects on the electrical properties of HfO2 thin films on Si |
|
|
|
Titel: |
MeV-Si ion irradiation effects on the electrical properties of HfO2 thin films on Si |
Auteur: |
Yu, Xiangkun Shao, Lin Chen, Q.Y. Trombetta, L. Wang, Chunyu Dharmaiahgari, Bhanu Wang, Xuemei Chen, Hui Ma, K.B. Liu, Jiarui Chu, Wei-Kan |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 249 (2006) nr. 1-2 pagina's 3 p. |
Jaar: |
2006 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|