|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 31 van 33 gevonden artikelen
| Titel: |
Synthesis of buried silicon oxynitride layers by ion implantation for silicon-on-insulator (SOI) structures |
| Auteur: |
Yadav, A.D. Polji, Rucha H. Singh, Vibha Dubey, S.K. Gundu Rao, T.K. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 245 (2006) nr. 2 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2006 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 31 van 33 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |