|
Formation of cobalt silicide films by ion beam deposition |
|
|
|
Titel: |
Formation of cobalt silicide films by ion beam deposition |
Auteur: |
Zhang, Y. McCready, D.E. Wang, C.M. Young, J. McKinley, M.I. Whitlow, H.J. Razpet, A. Possnert, G. Zhang, T. Wu, Y. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 242 (2006) nr. 1-2 pagina's 3 p. |
Jaar: |
2006 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|