|
Proton beam lithography at the University of Surrey’s Ion Beam Centre |
|
|
|
Titel: |
Proton beam lithography at the University of Surrey’s Ion Beam Centre |
Auteur: |
Mistry, P. Gomez-Morilla, I. Grime, G.W. Webb, R. Jeynes, C. Gwilliam, R. Cansell, A. Merchant, M. Kirkby, K.J. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 242 (2006) nr. 1-2 pagina's 3 p. |
Jaar: |
2006 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|