|
Inspection applications with higher electron beam energies |
|
|
|
Titel: |
Inspection applications with higher electron beam energies |
Auteur: |
Norman, D.R. Jones, J.L. Yoon, W.Y. Haskell, K.J. Sterbentz, J.W. Zabriskie, J.M. Hunt, A.W. Harmon, F. Kinlaw, M.T. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 241 (2005) nr. 1-4 pagina's 6 p. |
Jaar: |
2005 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|