|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 90 van 92 gevonden artikelen
| Titel: |
Ultra shallow p+/n junction formation by plasma doping (PD) and long pulse all solid-state laser annealing (ASLA) with selective absorption modulation |
| Auteur: |
Jin, C.G. Sasaki, Y. Okashita, K. Tamura, H. Ito, H. Mizuno, B. Tsutsui, K. Ohmi, S. Iwai, H. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 237 (2005) nr. 1-2 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2005 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 90 van 92 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |