|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 92 gevonden artikelen
| Titel: |
Advanced 65nm CMOS devices fabricated using ultra-low energy plasma doping |
| Auteur: |
Walther, S. Lenoble, D. Lallement, F. Grouillet, A. Erokhin, Y. Singh, V. Testoni, A. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 237 (2005) nr. 1-2 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2005 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 92 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |