|
High energy ion beam irradiation of polymers for electronic applications |
|
|
|
Titel: |
High energy ion beam irradiation of polymers for electronic applications |
Auteur: |
Fink, D. Alegaonkar, P.S. Petrov, A.V. Wilhelm, M. Szimkowiak, P. Behar, M. Sinha, D. Fahrner, W.R. Hoppe, K. Chadderton, L.T. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 236 (2005) nr. 1-4 pagina's 10 p. |
Jaar: |
2005 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|