|
A progress review of proton beam writing applications in microphotonics |
|
|
|
Titel: |
A progress review of proton beam writing applications in microphotonics |
Auteur: |
Bettiol, A.A. Sum, T.C. Cheong, F.C. Sow, C.H. Venugopal Rao, S. van Kan, J.A. Teo, E.J. Ansari, K. Watt, F. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 231 (2005) nr. 1-4 pagina's 8 p. |
Jaar: |
2005 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|