|
New developments on the Surrey microbeam applications to lithography |
|
|
|
Titel: |
New developments on the Surrey microbeam applications to lithography |
Auteur: |
Mistry, P. Gomez-Morilla, I. Grime, G.W. Webb, R. Jeynes, C. Gwilliam, R. Cansell, A. Merchant, M. Kirkby, K.J. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 231 (2005) nr. 1-4 pagina's 5 p. |
Jaar: |
2005 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|