|
Molecular dynamics simulation of ion implantation into hafnium dioxide |
|
|
|
Titel: |
Molecular dynamics simulation of ion implantation into hafnium dioxide |
Auteur: |
Ji, Huihui Yu, Min Shi, Hao Shi, Xiaokang Huang, Ru Zhang, Xing Zhang, Jinyu Suzuki, Kunihiro Oka, Hideki |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 226 (2004) nr. 4 pagina's 6 p. |
Jaar: |
2004 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|