|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 25 van 27 gevonden artikelen
| Titel: |
The effect of beam current and dose on the formation of buried silicon nitride layers by nitrogen implantation with a stationary beam |
| Auteur: |
Wong, S.P. Poon, M.C. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 22 (1987) nr. 4 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
1987 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 25 van 27 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |