|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 16 van 70 gevonden artikelen
| Titel: |
Damage accumulation and dopant migration during shallow As and Sb implantation into Si |
| Auteur: |
Werner, M. van den Berg, J.A. Armour, D.G. Vandervorst, W. Collart, E.H.J. Goldberg, R.D. Bailey, P. Noakes, T.C.Q. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 216 (2004) nr. C pagina's 8 p. |
| Jaar: |
2004 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 16 van 70 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |