|
Molecular effect on projected range in ultralow-energy ion implantation |
|
|
|
Titel: |
Molecular effect on projected range in ultralow-energy ion implantation |
Auteur: |
Kimura, K. Oota, Y. Nakajima, K. Suzuki, M. Aoki, T. Matsuo, J. Agarwal, A. Freer, B. Stevenson, A. Ameen, M. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 211 (2003) nr. 2 pagina's 5 p. |
Jaar: |
2003 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|