|
Plasma filament ion source for high current implanter |
|
|
|
Titel: |
Plasma filament ion source for high current implanter |
Auteur: |
Yabe, E. Ishizaka, N. Shibuya, T. Tonegawa, A. Takayama, K. Fukui, R. Takagi, K. Kikuchi, R. Okamoto, K. Komiya, S. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 21 (1987) nr. 1-4 pagina's 4 p. |
Jaar: |
1987 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|