Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 140 van 145 gevonden artikelen
 
 
  Use of ultra-low-energy BF2 + implantation and rapid annealing to avoid channeling effects in shallow junction formation
 
 
Titel: Use of ultra-low-energy BF2 + implantation and rapid annealing to avoid channeling effects in shallow junction formation
Auteur: Felch, S.B.
Powell, R.A.
Verschenen in: Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms
Paginering: Jaargang 21 (1987) nr. 1-4 pagina's 4 p.
Jaar: 1987
Inhoud:
Uitgever: Published by Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 140 van 145 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland