|
The precision implant 9000, a new concept in ion implantation systems |
|
|
|
Titel: |
The precision implant 9000, a new concept in ion implantation systems |
Auteur: |
Steen, L.S. Hall, J.Michael Aitken, D. Plumb, F.G. Wauk, M.T. Bright, N. Pruitt, C. Robinson, L. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 21 (1987) nr. 1-4 pagina's 6 p. |
Jaar: |
1987 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|