|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 204 van 242 gevonden artikelen
| Titel: |
Reduction of surface roughness by Ta2O5 film formation with O2 cluster ion assisted deposition |
| Auteur: |
Fujiwara, Y. Toyoda, N. Mochiji, K. Mitamura, T. Yamada, I. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 206 (2003) nr. C pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 204 van 242 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |