|
Investigation of deep implanted fluorine channeling profiles in silicon using resonant NRA |
|
|
|
Titel: |
Investigation of deep implanted fluorine channeling profiles in silicon using resonant NRA |
Auteur: |
Kokkoris, M. Perdikakis, G. Vlastou, R. Papadopoulos, C.T. Aslanoglou, X.A. Posselt, M. Grötzschel, R. Harissopulos, S. Kossionides, S. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 201 (2003) nr. 4 pagina's 7 p. |
Jaar: |
2003 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|