|
Spectro-microscopy of ultra-thin SiN films on Si(111) |
|
|
|
Titel: |
Spectro-microscopy of ultra-thin SiN films on Si(111) |
Auteur: |
Schmidt, Th. Clausen, T. Gangopadhyay, S. Falta, J. Heun, S. Gregoratti, L. Barinov, A. Kaulich, B. Kiskinova, M. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 200 (2003) nr. C pagina's 6 p. |
Jaar: |
2003 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|