|
Radiation damage in He implanted silicon at high temperature using multi-energies |
|
|
|
Titel: |
Radiation damage in He implanted silicon at high temperature using multi-energies |
Auteur: |
David, M.L Ratchenkova, A Oliviero, E Denanot, M.F Beaufort, M.F Declémy, A Blanchard, C Gerasimenko, N.N Barbot, J.F |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 198 (2002) nr. 1-2 pagina's 7 p. |
Jaar: |
2002 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|