|
Advanced characterization of high-k materials: A nuclear approach |
|
|
|
Titel: |
Advanced characterization of high-k materials: A nuclear approach |
Auteur: |
Brijs, B Huyghebaert, C Nauwelaerts, S Caymax, M Vandervorst, W Nakajima, K Kimura, K Bergmaier, A Döllinger, G Lennard, W.N Terwagne, G Vantomme, A |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 190 (2002) nr. 1-4 pagina's 5 p. |
Jaar: |
2002 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|