|
Development of enhanced depth-resolution technique for shallow dopant profiles |
|
|
|
Titel: |
Development of enhanced depth-resolution technique for shallow dopant profiles |
Auteur: |
Fujita, M. Tajima, J. Nakagawa, T. Abo, S. Kinomura, A. Pászti, F. Takai, M. Schork, R. Frey, L. Ryssel, H. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 190 (2002) nr. 1-4 pagina's 8 p. |
Jaar: |
2002 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|