|
Suppression of floating body effects in SOI–MOSFET studied using nuclear microprobes |
|
|
|
Titel: |
Suppression of floating body effects in SOI–MOSFET studied using nuclear microprobes |
Auteur: |
Abo, S. Mizutani, M. Nakayama, K. Takaoka, T. Iwamatsu, T. Yamaguchi, Y. Maegawa, S. Nishimura, T. Kinomura, A. Horino, Y. Takai, M. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 181 (2001) nr. 1-4 pagina's 4 p. |
Jaar: |
2001 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|