|
High-fluence Co implantation in Si, SiO2/Si and Si3N4/Si |
|
|
|
Titel: |
High-fluence Co implantation in Si, SiO2/Si and Si3N4/Si |
Auteur: |
Zhang, Yanwen Winzell, Thomas Zhang, Tonghe Andersson, Margaretha Maximov, Ivan A Sarwe, Eva-Lena Graczyk, Mariusz Montelius, Lars Whitlow, Harry J |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 159 (1999) nr. 3 pagina's 16 p. |
Jaar: |
1999 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|