|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 39 gevonden artikelen
| Titel: |
A transition radiation source with a grazing angle optic for step and scan lithography |
| Auteur: |
Piestrup, M.A. Powell, M.W. Mrowka, S. Cremer, J.T. Lombardo, L.W. Chase, M.B. Snyder, D. Rietdyk, H. Maruyama, X.K. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 145 (1998) nr. 1-2 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
1998 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 39 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |