|
The investigation on the film deposition by energetic cluster impact |
|
|
|
Titel: |
The investigation on the film deposition by energetic cluster impact |
Auteur: |
Guoqing, Yu Ying, Shi Jianwei, Chai Dongzhu, Xie Haochang, Pan Guohua, Yang Jianqing, Cao Hongjie, Xu Dezhang, Zhu |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 135 (1998) nr. 1-4 pagina's 6 p. |
Jaar: |
1998 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|