|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 26 gevonden artikelen
| Titel: |
Changes in the photoresist inhibitor distribution after ion irradiation and thermal treatment |
| Auteur: |
Fink, D. Klett, R. Behar, M. Sánchez, G. Kaschny, J.R. Hertlein, W.G. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 132 (1997) nr. 4 pagina's 660-670 |
| Jaar: |
1997 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 26 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |