|
Carbon nitride thin films prepared by a capacitively coupled RF plasma jet |
|
|
|
Titel: |
Carbon nitride thin films prepared by a capacitively coupled RF plasma jet |
Auteur: |
Dinescu, G. Aldea, E. Boieriu, P. Musa, G. Andrei, A. Dinescu, M. Brussaard, G.J.H. Severens, R.J. van de Sanden, M.C.M. Schram, D.C. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 120 (1996) nr. 1-4 pagina's 5 p. |
Jaar: |
1996 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|