|
Ion beam synthesis and recrystallization of amorphous SiGe/SiC structures |
|
|
|
Titel: |
Ion beam synthesis and recrystallization of amorphous SiGe/SiC structures |
Auteur: |
Pérez-Rodríguez, A. Ramano-Rodríguez, A. Serre, C. Calvo-Barrio, L. Cabezas, R. Morante, J.R. Calderer, J. Reuther, H. Skorupa, W. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 120 (1996) nr. 1-4 pagina's 5 p. |
Jaar: |
1996 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|