|
High temperature high dose C ion implantation in epitaxial SiGe |
|
|
|
Titel: |
High temperature high dose C ion implantation in epitaxial SiGe |
Auteur: |
Pérez-Rodríguez, A. Romano-Rodríguez, A. Serre, C. Calvo-Barrio, L. Cabezas, R. González-Varona, O. Morante, J.R. Kögler, R. Skorupa, W. Rodríguez, A. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 120 (1996) nr. 1-4 pagina's 4 p. |
Jaar: |
1996 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|